半導体製造装置の蒸着時(CVD/PVD)の凹凸に対する交流電源を使用した改善方法

半導体製造装置では一般的にACヒーターなどを用いて、正確な温度制御を行い素材への蒸着(CVD/PVD)を行っております。ACヒーターでの制御である為、入力電圧の変動がある場合正確な温度制御ができず凹凸(加工ムラ)が発生することがあります。直下では2020年の冬に電力供給不足があり、需要者への供給が33,000V→32850Vになったケースもあり、製造時の品質に影響を及ぼしたケースが実際発生しております。そこで交流安定化電源を導入することで電力供給不足に対して、安定した製造を維持することが可能です。

テストイメージ

CVDおよびPVD蒸着処理時の加工ムラ(凹凸)の交流電源を使った改善方法

半導体製造装置への交流電源導入例

特長

  • 三相で10kVA~150kVA、単相で500VA~20kVAまでラインナップ
  • オプションで三相線間606Vrmsまたは1040Vrmsと、世界の電源電圧の再現可能
  • AVR+スライダックと同等コストで出力安定度の高く省スペース化が可能

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