半導体製造装置の蒸着時（CVD/PVD）の凹凸に対する交流電源を使用した改善方法

半導体製造装置では一般的にACヒーターなどを用いて、正確な温度制御を行い素材への蒸着(CVD/PVD)を行っております。ACヒーターでの制御である為、入力電圧の変動がある場合正確な温度制御ができず凹凸（加工ムラ）が発生することがあります。直下では2020年の冬に電力供給不足があり、需要者への供給が33,000V→32850Vになったケースもあり、製造時の品質に影響を及ぼしたケースが実際発生しております。そこで交流安定化電源を導入することで電力供給不足に対して、安定した製造を維持することが可能です。