半導体製造装置の蒸着時（CVD/PVD）の凹凸に対する交流電源を使用した改善方法

テストイメージ

半導体製造装置への交流電源導入例

特長

• 三相で10kVA～150kVA、単相で500VA～20kVAまでラインナップ
• オプションで三相線間606Vrmsまたは1040Vrmsと、世界の電源電圧の再現可能
• AVR＋スライダックと同等コストで出力安定度の高く省スペース化が可能

関連製品

大容量プログラマブル交流電源「QAシリーズ」

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